| 石英深加工：石英坩堝的性能對(duì)于單晶硅成晶率的影響 |
| 新聞來源： 點(diǎn)擊數(shù)：1789 更新時(shí)間：2015-6-15 17:45:02 收藏此頁 |
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石英坩堝的性能直接影響單晶硅的成晶率，當(dāng)石英坩堝的表面產(chǎn)生失透時(shí)石英結(jié)晶片就會(huì)脫落，并黏著到單晶硅上從而降低單晶硅的成晶率; 為了達(dá)到內(nèi)表面高純度化，我們使用高純度石英砂原料，并且在嚴(yán)格的管理下進(jìn)行高清潔環(huán)境下洗凈; AQM- 30是內(nèi)表面使用了高純度合成石英砂的石英坩堝，可以長時(shí)間使用。 石英深加工
此外，如果單純以石英筒廢料或熔融石英為原料，依照傳統(tǒng)工藝不能制成致密的陶瓷燒結(jié)體，通過 工藝實(shí)踐研究已證實(shí)，使石英陶瓷致密化的方法，可通過以下途徑加以解決：采用干坯浸漬工藝，提高坯體 密度和細(xì)組分含量; 優(yōu)化調(diào)整原料加工工藝，保證合理的顆粒級(jí)配，提高生坯體積密度，并通過適當(dāng)?shù)募?xì)磨 增大原料顆粒的比表面積，以增大坯體的燒結(jié)動(dòng)力; 選用適宜的添加物，通過液相燒結(jié)機(jī)理使英陶瓷致密化; 石英陶瓷是按照傳統(tǒng)陶瓷生產(chǎn)工藝制作而成的非晶態(tài)二氧化硅的燒結(jié)體，具有優(yōu)良的抗熱沖擊性。
文章出處：http://techsoon.cn
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