PECVD中用的石英管規(guī)格主要有兩種：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反應(yīng)的范圍，使反應(yīng)均勻。做真空chamber用；石英管，結(jié)合前后蓋板，提供了一個密封的反應(yīng)腔。石英管是一個窗口的作用， 本身不產(chǎn)生等離子體，是微波源與銅波導(dǎo)管產(chǎn)生的。 2)干凈，鈉離子含量低； 為什么要定期更換石英管？ 定期更換石英管，也就是“擦窗戶”的效果。用的時間長了，石英外壁會沉淀厚厚一層SiNx，影響石英管的激發(fā)效果，會影響均勻性和效率。不便于調(diào)節(jié)反應(yīng)參數(shù)，所以要定期更換。
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