大口徑石英管在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備上,運用溫度經(jīng)常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態(tài), 在此種狀態(tài)下由于附著不純物招致失透現(xiàn)象發(fā)作,失透之部分為石英之晶質(zhì)化, 晶質(zhì)化之變態(tài)點為 275 ℃,當(dāng)石英筒自高溫降至此變態(tài)溫度時,表面失透之晶 質(zhì)化部分與石英筒本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間收縮系數(shù)不同在急速冷卻下 產(chǎn)生不透明之剝離狀更嚴重時會構(gòu)成分裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能運用更久, 就必需留意防止成石英失透產(chǎn)生的緣由, 而構(gòu)成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃 …… 等等。且0.1mg/cm2l}k 就會構(gòu)成數(shù)十倍或數(shù)百倍的失透量。 因此,防止這些污染源附著在石英表面上 除了不直接用空手去拿石英外, 運用在高溫作業(yè)之前必先做清洗之工作以確保石 英表面之潔凈度。 普通石英之洗凈需求一些程序, 首先用純水先沖洗表面, 再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一 些時間,取出后再用純水沖洗后晾干。 文章出處:http://techsoon.cn |