| 石英深加工：石英坩堝主要指標(biāo)及檢測(cè)包括哪些 |
| 新聞來(lái)源： 點(diǎn)擊數(shù)：2003 更新時(shí)間：2015-9-6 17:54:24 收藏此頁(yè) |
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初期的方石英結(jié)晶為球狀，進(jìn)一步的成長(zhǎng)則是沿著坩堝壁成樹(shù)枝狀往側(cè)向發(fā)展.石英筒坩堝內(nèi)外表面應(yīng)清潔無(wú)沾污；坩堝內(nèi)外不允許有裂紋；坩堝口端部不允許有切割毛刺崩邊，口端部?jī)?nèi)倒角應(yīng)﹥2㎜；外觀質(zhì)量指標(biāo)外觀質(zhì)量指標(biāo)外觀質(zhì)量指標(biāo)外觀質(zhì)量指標(biāo).石英深加工坩堝底部不允許有劃傷、觸痕；不允許有無(wú)光澤的凹坑，底部連接弧度處不允許有凹坑；有凹坑，但很光滑能滿(mǎn)足壁厚要求，直徑小于5㎜，不允許超過(guò)2只；坩堝內(nèi)表面上不允許有雜質(zhì)點(diǎn)。這是因?yàn)槭③釄迮c溶液的反應(yīng)時(shí)的垂直方向的成長(zhǎng)受到抑制之故。
1.石英坩堝的主要指標(biāo)包括三個(gè)方面：幾何尺寸；純度、雜質(zhì)含量；外觀。
幾何尺寸體現(xiàn)了支架試驗(yàn)臺(tái)精加工水平，由于單晶生產(chǎn)廠家的熱場(chǎng)系統(tǒng)（主要是石墨坩堝）相對(duì)固定，因此石英坩堝的幾何尺寸有統(tǒng)一要求。
2.由于GE坩堝進(jìn)入市場(chǎng)較早，所以我國(guó)產(chǎn)品幾何尺寸一般沿用了GE的標(biāo)準(zhǔn)。
3.純度、雜質(zhì)含量標(biāo)準(zhǔn)，采用了石英砂原料生產(chǎn)廠家的標(biāo)準(zhǔn)，由于國(guó)產(chǎn)坩堝都采用了進(jìn)口原料，國(guó)內(nèi)坩堝廠家的標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)一致。
在方石英結(jié)晶與非晶質(zhì)石英坩堝壁之間通常夾雜著一層硅溶液，而在方石英結(jié)晶的邊緣，通常覆蓋著棕色的sio氣泡。Sio氣體為棕色，棕色的小圈是sio的結(jié)晶。
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