石英筒是由二氧化硅單一組分組成的玻璃。這種玻璃硬度大可達(dá)莫氏七級,膨脹系數(shù)低,耐高溫,化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性都比較好,除氫氟酸、熱磷酸外,對一般酸有較好的耐酸性。透明的石英筒有良好的透紫外線性能和光學(xué)性能。用于制造光學(xué)儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器。高純石英筒可制光導(dǎo)纖維。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英筒被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如,直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅;清洗時用的清洗槽;擴(kuò)散時用的擴(kuò)散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。石英筒是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同。據(jù)中國環(huán)氧樹脂行業(yè)協(xié)會專家介紹,石英筒具有極低的熱膨脹系數(shù),高的耐溫性,極好的化學(xué)穩(wěn)定性,優(yōu)良的電絕緣性,低而穩(wěn)定的超聲延遲性能,******的透紫外光譜性能以及透可見光及近紅外光譜性能,并有著高于普通玻璃的機(jī)械性能。因此它是近代尖端技術(shù)中空間技術(shù)、原子能工業(yè)、國防裝備、自動化系統(tǒng),以及半導(dǎo)體、冶金、化工、電光源、通訊、輕工、建材等工業(yè)中不可缺少的優(yōu)良材料之一。 |