石英筒在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備上,使用溫度常常在1000℃至1300℃之高溫狀態(tài),在此種狀態(tài)下因?yàn)楦街患兾飳?dǎo)致失透現(xiàn)象發(fā)生,失透之部門為石英之晶質(zhì)化,晶質(zhì)化之反常點(diǎn)為275℃,當(dāng)石英筒自高溫降至此反常溫度時(shí),表面失透之晶質(zhì)化部門與石英筒本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀,更嚴(yán)峻時(shí)會(huì)造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能使用更久,就必需留意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因,而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵?!鹊?。
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