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1、可以用氫氟酸清洗； 　　

2、用發(fā)煙硝酸或是熱濃硫酸洗或浸泡3到五分鐘，必要時再或是重復(fù)幾次都可以洗凈。 　　

3、高溫?zé)?，蒸汽吹?/span>

4、丙酮溶液超聲3－5分鐘，無水乙醇超聲3－5分鐘，前后反復(fù)兩遍，后用熱、冷去離子水沖洗。

5、用HF溶液（HF:H2O）泡30秒，沖去離子水15分鐘。

6、用I號洗液(NH4OH:H202:H20),先把去離子水加熱至85°C，倒入NH4OH和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后用去離子水沖6－7遍；

7、用稀釋HF溶液（HF:H2O）泡30秒，沖熱去離子水15分鐘；

8、用II號洗液(HCl:H202:H20),先把去離子水加熱至85攝氏度，倒入HCl和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后沖熱去離子水15分鐘，沖冷去離子水5分鐘；

9、吹干后，烘干備用。

文章出自大口徑石英管小編：http://techsoon.cn/??

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