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LPCVD爐管工藝中斷
                  對(duì)策： 1 根據(jù)提示的中斷信息，找出中斷的真正原因；
                         2．根據(jù)具體情況，確定返工時(shí)間的多少，將返工時(shí)間減去1-2分鐘，作為 氣體開(kāi)關(guān)時(shí)的補(bǔ)償。特別注意的是：在返工以前園片必須經(jīng)清洗，以防產(chǎn)生顆粒。

6.2 LPCVD爐管顆粒問(wèn)題
    對(duì)策：1 分析測(cè)量結(jié)果，排除測(cè)量的影響;
          2．若是Si3N4顆粒,要看顆粒片前是否放了擋片，擋片是否干凈;
3.對(duì)爐管進(jìn)行PURGE后再做顆粒試爐；
          4. 檢查設(shè)備狀態(tài)，清洗爐管和陪片.
         
6.3均勻性問(wèn)題
對(duì)策：1 檢查溫度、壓力、氣體流量等是否正常，否則更換流量計(jì)、清洗壓力計(jì)、重新拉恒溫區(qū)。
      2 可以調(diào)整各區(qū)的溫度，氣體的流量，淀積時(shí)間以調(diào)整均勻性