石英筒之洗凈方法
石英筒在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備上，使用溫度經(jīng)常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態(tài)，
在此種狀態(tài)下由于附著不純物導(dǎo)致失透現(xiàn)象發(fā)生，失透之部分為石英之晶質(zhì)化，
晶質(zhì)化之變態(tài)點(diǎn)為 275 ℃，當(dāng)石英筒自高溫降至此變態(tài)溫度時(shí)，表面失透之晶
質(zhì)化部分與石英筒本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下
產(chǎn)生不透明之剝離狀更嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能使用更久，
就必須注意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因，
而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃
…… 等等。且0.1mg/cm2l}k 就會(huì)造成數(shù)十倍或數(shù)百倍的失透量。
因此，防止這些污染源附著在石英表面上
除了不直接用空手去拿石英外，
使用在高溫作業(yè)之前必先做清洗之工作以確保石
英表面之潔凈度。
一般石英之洗凈須要一些程序，
首先用純水先沖洗表面，
再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一
些時(shí)間，取出后再用純水沖洗后晾干。
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