石英筒的形成是因為其熔體高溫黏度很高引起的結果。用于制作半導體、電光源器、半導通訊裝置、激光器，光學儀器，實驗室儀器、電學設備、醫(yī)療設備和耐高溫耐侵蝕的化學儀器、化工、電子、冶金、建材以及國防等產(chǎn)業(yè)，應用十分廣泛。因為種類、工藝、原料的不同，國外經(jīng)常叫做硅酸玻璃、石英筒、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國統(tǒng)稱石英筒，多按工藝方法、用途及外觀來分類，如電熔透明石英筒、連熔石英筒、氣煉透明石英筒、合成石英筒、不透明石英筒、光學石英筒、半導體用石英筒、電光源用石英筒等。
石英筒在半導體產(chǎn)業(yè)設備上，使用溫度常常在1000℃至1300℃之高溫狀態(tài)，在此種狀態(tài)下因為附著不純物導致失透現(xiàn)象發(fā)生，失透之部門為石英之晶質(zhì)化，晶質(zhì)化之反常點為275℃，當石英筒自高溫降至此反常溫度時，表面失透之晶質(zhì)化部門與石英筒本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀，更嚴峻時會造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能使用更久，就必需留意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因，而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵?！鹊取?BR> 且0.1mg/cm2就會造成數(shù)十倍或數(shù)百倍的失透量。因此，防止這些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高溫功課之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔凈度。一般石英之洗凈須要一些程序，首先用純水先沖刷表面，再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一些時間，掏出后再用純水沖刷后晾干。
文章出處：http://techsoon.cn |
中文
English
