在具有新型諧振腔的微波等離子體CVD裝置上，利用乙醇和氫氣為工作氣體在大口徑石英管外表面沉積了均勻、致密的納米金剛石薄膜。采用掃描電子顯微鏡、Raman光譜及X射線衍射表征了金剛石薄膜的質(zhì)量；設(shè)計(jì)腐蝕實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)了金剛石薄膜的抗腐蝕效果。結(jié)果表明：在反應(yīng)氣壓為5．5 kPa、碳源濃度為8 vo1％、大口徑石英管溫度為500oC的條件下，得到的納米金剛石薄膜能有效增強(qiáng)大口徑石英管的抗腐蝕性能。
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