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石英深加工：石英坩堝的性能對(duì)于單晶硅成晶率的影響
新聞來(lái)源：點(diǎn)擊數(shù)：1956 更新時(shí)間：2015-3-12 15:19:59 收藏此頁(yè)

石英坩堝的性能直接影響單晶硅的成晶率，當(dāng)石英坩堝的表面產(chǎn)生失透時(shí)石英結(jié)晶片就會(huì)脫落，并黏著到單晶硅上從而降低單晶硅的成晶率; 為了達(dá)到內(nèi)表面高純度化，我們使用高純度石英砂原料，并且在嚴(yán)格的管理下進(jìn)行高清潔環(huán)境下洗凈; AQM- 30是內(nèi)表面使用了高純度合成石英砂的石英坩堝，可以長(zhǎng)時(shí)間使用。石英深加工　　此外，如果單純以石英筒廢料或熔融石英為原料，依照傳統(tǒng)工藝不能制成致密的陶瓷燒結(jié)體，通過(guò) 工藝實(shí)踐研究已證實(shí)，使石英陶瓷致密化的方法，可通過(guò)以下途徑加以解決：采用干坯浸漬工藝，提高坯體密度和細(xì)組分含量; 優(yōu)化調(diào)整原料加工工藝，保證合理的顆粒級(jí)配，提高生坯體積密度，并通過(guò)適當(dāng)?shù)募?xì)磨增大原料顆粒的比表面積，以增大坯體的燒結(jié)動(dòng)力; 選用適宜的添加物，通過(guò)液相燒結(jié)機(jī)理使英陶瓷致密化; 石英陶瓷是按照傳統(tǒng)陶瓷生產(chǎn)工藝制作而成的非晶態(tài)二氧化硅的燒結(jié)體，具有優(yōu)良的抗熱沖擊性。文章出處：http://techsoon.cn
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