| 石英筒到底應(yīng)該怎么清洗？ |
| 新聞來源： 點(diǎn)擊數(shù)：2816 更新時(shí)間：2014-6-28 9:05:08 收藏此頁(yè) |
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石英筒的形成是因?yàn)槠淙垠w高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通訊裝置、激光器，光學(xué)儀器，實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和耐高溫耐侵蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建材以及國(guó)防等產(chǎn)業(yè)，應(yīng)用十分廣泛。因?yàn)榉N類、工藝、原料的不同，國(guó)外經(jīng)常叫做硅酸玻璃、石英筒、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國(guó)統(tǒng)稱石英筒，多按工藝方法、用途及外觀來分類，如電熔透明石英筒、連熔石英筒、氣煉透明石英筒、合成石英筒、不透明石英筒、光學(xué)石英筒、半導(dǎo)體用石英筒、電光源用石英筒等。
石英筒在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備上，使用溫度常常在1000℃至1300℃之高溫狀態(tài)，在此種狀態(tài)下因?yàn)楦街患兾飳?dǎo)致失透現(xiàn)象發(fā)生，失透之部門為石英之晶質(zhì)化，晶質(zhì)化之反常點(diǎn)為275℃，當(dāng)石英筒自高溫降至此反常溫度時(shí)，表面失透之晶質(zhì)化部門與石英筒本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數(shù)不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀，更嚴(yán)峻時(shí)會(huì)造成破裂現(xiàn)象產(chǎn)生。為使石英制品能使用更久，就必需留意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因，而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃……等等。
且0.1mg/cm2就會(huì)造成數(shù)十倍或數(shù)百倍的失透量。因此，防止這些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高溫功課之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔凈度。一般石英之洗凈須要一些程序，首先用純水先沖刷表面，再置入酸洗槽內(nèi)浸泡一些時(shí)間，掏出后再用純水沖刷后晾干。
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